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三氯化硼纯气体系列 Boron Trichloride Gas
1. 产品规格:
瑞合专注于工业级三氯化硼(纯度<99.99%)的规模化合成生产及初级提纯,目前有2种规格的产品供客户选择使用。

     99.9%  三氯化硼

     99.95% 三氯化硼


 2. 包装容器:
     10升国际压力钢瓶(配QF-10阀门)
     47升国际压力钢瓶(配QF-10阀门)
     49升DOT压力钢瓶(配CGA660阀门)
     400升国际压力钢瓶(配QF-10阀门)
     926升国际压力钢瓶
也可按客户要求定制其他规格、型号的钢瓶及阀门。

3. 产品特点:
(1)纯度稳定:“瑞合”三氯化硼生产工艺过程稳定可控,并执行严格的生产质量管理体系,对产品实行严格的质量检测控制,保障产品持续及稳定的纯度。
(2)安全生产和经营保证,长期稳定供货:“瑞合”三氯化硼产品获应急管理部门合法生产、经营资质许可,且拥有严格有效的危化品安全生产、经营措施,和经验丰富的安全生产、经营管理人员,可为客户提供长期稳定、合法可靠的供应。
(3)迅速、有效的供货服务:本土化合法、安全生产与先进的营销、物流管理能力的良好结合,为客户提供及时、安全、周到的供货服务。

 
4. 理化特征
无色发烟液体或气体(有毒、不燃),有强烈刺激性、酸性气味,易潮解,在潮湿的空气中可产生浓密白烟,在水中分解为盐酸和硼酸,在醇中分解为盐酸和硼酸酯, 如作溶媒, 不能使盐与强酸产生离子作用。

分子式:BCl 3

分子量:117.17

PH值:酸性

熔点:-107.3℃

相对密度:(水=1)1.43

沸点:12.5℃

相对蒸汽密度:(空气=1)4.03

引燃温度(℃):不燃

临界温度:178.8℃

临界压力:38.7bar(3.87MPa)

溶解性:溶于苯、二硫化碳等

水溶性:水解

气体密度 (1 atm,21.1°C): 5.02kg/m3

液体密度 (1 atm,12.5℃) : 1340 kg/m3

气体热容Cp(1 atm,25℃):0.062KJ/mol.k

汽化热(1 atm,12.5℃) : 203.15 kJ

饱和蒸汽压:101.32KPa(12.5℃), 202.65KPa(33.2℃), 506.62KPa(66℃), 1013.25KPa(96.7℃)

 
5. 产品用途
(1)高纯三氯化硼主要用于(硅)半导体器件制造工艺中的扩散掺杂(在高温下,经过分解生成硼杂质向硅中扩散,形成P型半导体)、离子注入(作为离子注入源,高能量作用下使硼原子离子化,产生硼离子束并注入硅形成P型浅结)、干法蚀刻(用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蚀刻)等过程;
(2)可作为许多有机反应中的优良催化剂(如苯乙烯聚合反应中建议使用,可提高产量及效率)及医药工业的中间体;
(3)用于制备有机硼化合物的基础材料:乙硼烷;硼酸酯等;
      用于制备无机硼化合物材料:硼纤维、BN纤维先驱体、BN坩锅等;
      用于制备硼化物粉末:高纯硼粉(无定型及结晶型)、BN、BC4、TiB2超细粉;
      用于CVD涂层及镀膜工艺:涂覆B、BC4、BN、TiB2等保护涂层及膜;
      用作光导纤维的基础材料;
      此外还可用于制造太阳能电池元件等工艺过程中;
      环氧树脂固化剂;
      碳纤维石墨化的渗硼工艺。
(4)还可用于金属冶炼如铝、镁、锌、铜合金的提纯过程(可脱除熔融金属中的氮化物、碳化物和氧化物。用三氯化硼气体处理熔化的铝,可使铝铸件的性能得到改善。)
(5)用作铝、铁、锌、锰、钨、蒙乃尔等合金的焊剂。
(6)用于扑灭热处理炉中的Mg火。
(7)高能燃料及火箭推进剂中,三氯化硼作为硼源以提高BTU值。